國(guó)產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
國(guó)產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
★高精度，快響應(yīng)型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
★兼容
北京氣體質(zhì)量流量控制器用途：
用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
國(guó)產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器詳細(xì)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號(hào) | D07-19C |
| 產(chǎn)品類(lèi)型 | 高精度型,快響應(yīng)型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±1％F.S.(20slm ±2％F.S.) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線(xiàn)性 | ±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.) |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1.5sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類(lèi)型 | - 無(wú) - |
| 溫度系數(shù) | Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無(wú) - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | (0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿(mǎn)量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿(mǎn)量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
| 表面化學(xué)成分 | - 無(wú) - |
| 表面粗糙度 | - 無(wú) - |
| 抗電磁干擾 | CE |
| 重量 | 1.2Kg |
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